三靶磁控溅射沉积系统

发布人：赵鹏  发布时间：2018-04-25   浏览次数:18

极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm。